纳米SrTiO电容-电压敏特性优化及双功能器件研究

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采用正交设计的思想,根据溶胶-凝胶法制备纳米SrTiO<,3>粉体材料的工艺,选定水-钛比、水-冰醋酸比、和凝胶温度三个因素进行实验,并分析实验结果.结果表明在优化了的工艺条件下制备的纳米SrTiO<,3>粉体材料的粒径可达到27nm左右.此外,还研究了煅烧温度对SrTiO<,3>粉体性能的影响.从理论上分析了SrTiO<,3>的掺杂机理和一次烧成工艺的可能性.利用均匀设计和正交设计的思想研究了施主杂质(Nb、La)、受主杂质(Li、Mn)、添加剂(SiO<,2>-TiO<,2>-Al<,2>O<,3>)、还原烧成温度和氧化处理时间对器件性能的影响规律.利用统计分析软件SPSS对实验结果进行综合分析.实验结果表明,当SiO<,2>-TiO<,2>-Al<,2>O<,3>分别取2%、2%、0.5%时可以在陶瓷中形成丰富的液相,促进陶瓷的半导化.在1450℃左右的还原性气氛下进行半导化处理即可得到压敏电压低于10V的双功能陶瓷器件.在1100℃下氧化处理10分钟即可使半导化的晶粒表面形成绝缘的晶界.
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