随着半导体行业的发展,特别是液晶玻璃基板的发展对传统的搬运方式提出了挑战。现在工业现场中应用的伯努利吸盘由于存在耗气量大制造成本高等缺点应用受到限制。黎鑫等人为了克服伯努利吸盘的缺点发明了以旋流原理为基础的旋流非接触式吸盘,目前对现有吸盘的性能优化是目前旋流非接触吸盘的研究重点,而参数化优化设计又因为缺乏能够准确描述吸盘系统特性的数学模型而难以展开。因此本文针对旋流非接触式吸盘的静态流场仿真与建模做了如下工作:(1)设计搭建旋流非接触吸盘PIV(Particle Image Velocimetry)试验台,应用PIV技术对吸盘内部流场进行测速实验,通过分析获得吸盘内部三维流场的切向速度和径向速度分布数据得到吸盘内部流场的流动特性。(2)基于PIV实验结果利用基本的旋涡理论对吸盘进行切向速度仿真,建立吸盘流场的一维切向速度模型。分析喷嘴流量特性得到吸盘的耗气量模型。建立吸盘的压力分布模型和吸取力特性模型。(3)设计搭建了吸盘的静态压力测试试验台,通过获得的不同工况下的吸盘压力分布和提升力数据对吸盘的理论模型进行验证分析。(4)利用CFD仿真软件FLUENT对吸盘内部流场进行数值模拟,应用仿真结果进一步对吸盘的理论模型和PIV技术在吸盘流场测速上的适用效果进行验证。