光学非球面的使用可以降低光学系统的复杂性，而且二次曲面在一定条件下没有球差。在常规光学系统中应用非球面，可以减少元件数量，简化光学系统，大幅度提高成像质量。在常规光学元件轮廓检测中，现已经发展了许多基于干涉的检测技术。而在同步辐射光学中，由于波长短，元件只能工作在掠入射状态，而且对镜面轮廓精度要求极高。这促进了基于笔形束扫描的新型轮廓仪—长程面形仪的发明、改进和发展，在同步辐射工程中得到广泛应用。传统干涉检测技术和长程面形仪在原理和表面质量评价标准上不尽相同。这给大型非球面镜的制造商和用户带来了误解，造成困扰。　　 本论文的主要目的是尝试将长程面形仪与常规干涉轮廓仪作一个比对研究。　　 首先较为详细地讨论了干涉轮廓术中应用广泛的相移干涉方法。主要研究了相移干涉算法的误差响应，尤其是对探测器非线性误差和移相误差的响应。然后提出了一种新的探测器非线性误差的补偿方法，以期有效提高相位测量的精度。　　 在同步辐射光学元件检测方面，主要针对上海同步辐射装置已建成的新型长程面形仪LTP-1200，发展了长程面形仪的标定方法，包括球面镜标定和光学系统的线性系数标定，并给出了仪器的性能指标及测试结果。也讨论了测量中一种常见的对中误差，以及消除对中误差的方法。　　 研究了两种检测手段的差异和他们之间的联系，并完成了针对同一样品镜的比对测试。结果显示两者测量的表面面形基本一致。　　 本学位论文的主要创新点在于：　　 1.首次较系统地对干涉轮廓技术和长程面形仪进行了比对研究：　　 2.发现相移干涉轮廓术中探测器非线性误差会引起2倍频的相位误差：　　 3.提出了一种新的误差补偿技术，可使移相误差和探测器非线性误差互相抵消，以有效提高相位测量的精度；　　 4.发展了长程面形仪的标定技术；　　 5.提出了斜率波纹度的概念。