相移干涉仪相关论文
超临界流体具有广泛的应用前景,特别是以超临界CO2布雷顿循环为代表的先进流体循环系统等方面的应用对于实现我国“碳中和”目标具......
本文简要综述了相移技术的原理及应用.介绍了相移技术在光刻技术的应用.叙述了两种相移干涉仪的结构及应用;在数字全息技术中消除......
该文重点叙述了用WYKO公司24”相移干涉仪测量大尺寸光学元件波前的方法，元件的材料包含了光学玻璃、磷酸盐钕玻璃和KDP晶体等，形状......
光学非球面的使用可以降低光学系统的复杂性，而且二次曲面在一定条件下没有球差。在常规光学系统中应用非球面，可以减少元件数量，简化......
通过对多个相移算法的理论分析和数值模拟,发现探测器的非线性响应在相位中会引入2倍空间频率的系统误差.结果表明,非标准相移算法......
采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了......
利用半导体激光器作为相干照明光源，通过改变半导体激光器温度来改变其波长，实现了步进相移干涉计量。在理论分析和实验研究的基础上......
为了减少相移干涉仪中压电陶瓷致动器进行相移时,其迟滞非线性对相移算法中的相位计算带来的误差,设计了一套压电陶瓷致动器的控制......
相移干涉测量是一种光学精密检测方法。相移器作为其中关键部件，它的性能直接影响计量精度，文中介绍了一种用于相移器标定的方法。该......
为实现国家仪器专项中相移干涉仪的工程化及产业化，结合可重构制造系统设计的思想，研究了不同口径及不同测量需求的系列干涉主机的光......
研究了平面度计量中的线和面两种传递路径。针对通过等厚干涉仪的面传递中不能维持平面度指标的原始定义,必须采用光圈(N、ΔN)等......
“神光”-Ⅲ装置对所使用的光学元件不仅提出了大口径的要求（200mm以上），而且对于光学元件表面波前空间频率上中高频段的小尺度的制造......
介绍了到目前为止的几种任意步距步进相移算法，并针对相移干涉仪的两种主要误差———移相误差和探测器非线性误差进行了计算仿真，进......
