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本文介绍了液晶光阀光导层的发展、液晶光阀的工作原理及应用,分析了非晶硅薄膜的生长机制以及载流子的横向扩散对分辨率的影响,详细研究了nc-Si/a-Si:H柱状结构复合光导层液晶光阀的制备工艺。 液晶光阀的分辨率与许多因素有关,而光导层光生载流子的横向扩散则是其中的重要因素之一。本文根据柱状结构存在各向异性的特点,并根据半导体物理知识,推出光导层光生载流子横向最大扩散长度(该扩散长度与液晶光阀光导层分辨率直接相关)与薄膜横向和纵向电导率关系的表达式为: