【摘 要】
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该文介绍了采用电子束蒸发方法在Si衬底上制备出了高纯度的金属锌膜,然后通过二次退火得到了具有六角结构的高质量氧化锌多晶薄膜材料,另外,还采用电子束蒸发MgO薄膜作为缓冲
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该文介绍了采用电子束蒸发方法在Si衬底上制备出了高纯度的金属锌膜,然后通过二次退火得到了具有六角结构的高质量氧化锌多晶薄膜材料,另外,还采用电子束蒸发MgO薄膜作为缓冲层二次退火金属锌膜的方法制备出了高质量氧化锌多晶薄膜材料和MgZnO合金薄膜材料.并采用X射线衍射谱、反射谱和光致发光谱、低温光致发光谱等测量手段对样品的结构和光学特性进行了表征.对氧化锌的紫外发光和缺陷引起的可见光发射的强度变化进行了分析.实验结果表明利用电子束蒸发技术制备的ZnO薄膜材料,在经过氧气气氛下的二次退火处埋后,能够表现出较好的发光和结构特性;以MgO薄膜作为缓冲层制备出了高质量的MgZnO合金薄膜材料,这为开展MgZnO合金薄膜材料的研究开辟了新的途径.
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