钛酸钡(BaTiO3)系半导体陶瓷PTCR已广泛被应用于通信、家用电器、汽车、航天飞机等领域。其电极广泛采用化学镀镍及烧渗欧姆银浆或铝浆等制备方法。烧渗法浆料的工艺适应性差,制备的电极抗环境老化性能差;化学镀法过程中引入的有毒离子不仅会渗透到瓷片中降低PTC效应,而且会污染环境。本文利用直流磁控溅射设备及镍铬合金(Ni80%Cr20%)靶材在PTC元件上制备电极,制备出的镍铬合金电极厚度约为1.0μm,与瓷片之间形成了良好的欧姆接触。研究结果表明在溅射功率为2.0~3.0KW,溅射压强为8.7~9.3×10-2Pa,溅射时间为5~12分钟时,能够制备出电性能优良的电极,在此范围内改变制备工艺参数,发现溅射功率的改变对于PTC马达启动元件的特性影响最大。对制备工艺参数进行优化得出失效几率最小的最佳工艺参数,通过扫描电镜照片,发现最优工艺参数制备的薄膜孔洞少、致密性好、界面之间几乎没有互扩散。对不同工艺及材料制备电极的元件的电性能进行对比,发现溅射镍铬合金电极的元件耐电压强度高,阻温特性好,寿命特性优异,电极与瓷片之间附着力强。镍铬合金价格低于镍金属,溅射沉积速率也比镍金属要快,所以溅射镍铬电极的直接成本低于溅射镍电极。如果溅射镍铬电极在一定程度上提高生产能力及靶材利用率,保证设备的连续批量生产,溅射镍铬合金电极将有着诱人的工业前景。