电液伺服阀是电液伺服控制系统的重要部件。它广泛应用于航天、航空、航海的航行控制,其性能直接影响整个系统的运动精度,因而在工业及武器系统中占有重要地位。阀口节流工作棱边是电液伺服阀的关键组件,其加工质量直接影响电液伺服阀的整体性能。棱边端跳动为阀口节流工作棱边的加工质量的重要指标。然而,由于节流工作棱边处于阀套内侧、精度要求高、易于损坏等原因,棱边端跳动无法利用通用测量设备进行检测。本文利用气动窄缝扫描测量原理开发了检测电液伺服阀中棱边端跳动的自动化测量设备。本文首先引入气动窄缝扫描测量原理,并分析其特点;然后为其配备了节流孔可调的差压式气路,并分析其特性;之后,本文设计了测头,并建立测量模型,根据模型研究了影响测量精度的主要因素(喷嘴盖板机构的径向间隙以及层流气阻),并将它们量化以便于误差补偿。根据理论基础,本文制定了测量方案。根据测量方案中提出的技术要求,本文设计并制作了实验设备,包括设计并加工了测量装置(工装卡具与驱动部分),设计并搭建了配气箱,选用仪表电路并制作了电控箱,设计并开发了控制及数据处理软件,并提出智能测量方法。最终利用设备进行实验,通过实验数据验证了设计的准确性。本文深入地研究了气动窄缝扫描测量原理以及与之配套的气路、测头的特性,提出了测量模型,研究并量化了影响其精度的主要因素。这些理论结果以及实验数据可应用到其它开口量为亚微米级的气动测量中,拓宽了气动测量的应用范围。同时,本课题所研发的测量台可应用于国有航天某厂生产的某型号的伺服阀的性能测量。因而,本课题在理论研究与工程项目中都具有实际意义。