本文主要研究高能激光辐照下连续面形分立驱动变形镜热变形特点、影响因素以及其对变形镜像差校正能力的影响。文章主要包括以下内容:1.利用有限元方法计算了一个39单元变形镜在受到激光辐照后的温升以及热变形,并利用Zernike多项式对热变形后的面形进行了拟合。结果表明:在热通量为3W/cm2时,镜面PV值将达到0.659μm;热变形引起的像差主要以低阶成分,尤其是离焦为主;在去除掉所有低阶成分后,剩余的高阶残差PV值仍接近整个面形PV值的一半。2.研究了热变形引起的变形镜影响函数的变化。计算了不同热加载条件下变形镜的影响函数,并与静态时的影响函数进行了比较。结果表明,热加载后,影响函数的交连值变小,高斯系数变大,而影响函数幅值的变化规律为中心处驱动器的变小,靠近边缘处驱动器的变大。3.研究了变形镜热变形的影响因素,分析了变形镜镜面材料以及驱动器布局对热变形大小的影响。分析结果表明:采用热传导系数大且热膨胀系数小的材料可以明显减小热变形;相比六边形驱动器布局的变形镜,方形驱动器布局变形镜热变形后面形PV值较小,但热变形后其面形中包含的高阶成分更多。4.研究了热变形对变形镜像差补偿能力的影响。结果表明:为补偿自身热变形,变形镜驱动器冲程将下降10%左右;由于影响函数发生变化,热变形后,变形镜校正低阶像差(Z4-Z15)的能力将会下降;如果在热变形后继续使用静态时的影响函数进行波前拟合和重构,最终的补偿效果将会进一步变差;变形镜热变形面形主要成分为离焦和像散,且热变形后面形高阶成分增多;热变形将导致变形镜像差补偿效果退化,使得原本已经补偿的很好的波前PV值显著增大。5.研究了连续面形分立驱动变形镜波前补偿残差特性:无论是在静态时还是热变形后,变形镜波前补偿残差主要为高阶成分。