近年来,为了应对全球能源需求增加和环境污染问题,人们提出了一种智能窗的概念,用于节约建筑物用于空调制冷-制热调节室内温度所消耗的这一部分能源。热致相变智能窗可以在室内温度低时提高透过窗户进入室内的太阳光辐射量,在室内温度高时隔绝太阳光辐射进入室内,因此可以有效降低人们为了调节室温的能源消耗。二氧化钒（VO2）的相变温度在室温附近,且相变过程可逆,很适合用作智能窗的功能涂层。VO2在应用研究中的主要问题有:制备工艺复杂、材料本身的可见光透过率和太阳光调控效率低、相变温度稍高于室温等。因此,探究制备条件对VO2的晶相、表面形貌和相变性能的影响规律,优化VO2薄膜性能成为一项重要的课题。为了解决以上问题,本论文采用磁控溅射制备金属钒薄膜,然后使用快速热退火氧化制得的金属薄膜得到VO2薄膜,目前研究中对这种制备方式进行的研究很少,这种方法将溅射过程和薄膜氧化过程分离开,降低了制备要求,而且还拥有重复性高,可控性好等优点。在实验中我们通过控制快速热退火时间、退火氧气流量和磁控溅射过程中薄膜的厚度等手段有针对性地调控了VO2薄膜的性能,制得了高质量的VO2薄膜,另外,为了优化薄膜的热致相变性能还尝试在单层VO2薄膜的基础上制备V/Ti叠层结构的薄膜。本次实验的研究主要包括以下三个方面:（1）首先研究了快速热退火过程中退火时间与氧气压强对制得的VO2薄膜的物相、表面形貌、透过率光谱和相变温度等性能的影响,在增加退火时间和氧气压强后,VO2薄膜表面颗粒大小变大,可见光透过率和相变温度都有增加,通过实验得出了在适用于玻璃衬底上制备VO2薄膜的退火工艺参数。（2）在选定的退火工艺参数下通过磁控溅射法在玻璃衬底上制备了一系列不同厚度的VO2薄膜。结果表明厚度150nm的薄膜可见光透过率和太阳光调控效率取得了一个平衡,薄膜为纯相且热致相变性能良好。薄膜的可见光透过率为34.9%,太阳光调控效率为7.1%,相变温度为60.3℃。（3）通过离子束溅射和磁控溅射制备V/Ti结构的VO2薄膜,测试了V/Ti结构对VO2薄膜的元素含量、晶体结构、表面形貌和相变性能的影响。测试结果表明与相同条件下制备的单层薄膜相比,V/Ti结构的VO2薄膜相变温度明显降低到了48.4℃,同时可见光透过率和太阳光调控效率分别提高到了36.3%和7.4%。