分析评定软件是表面形貌测量仪器的重要组成部分,和仪器的硬件一样,其可靠性、准确性是实现表面形貌准确测量的基础。实际中,虽然目前大部分生产商在表面形貌分析评定软件开发中都采用国际标准ISO 4287,但标准中参数定义的不完全性,模糊及歧义性,导致即使是同组数据输入不同的评定软件也会得到不同的计算参数评定结果。为此,产品几何技术规范(GPS)系列标准ISO 5436-2 (2001)提出了表面形貌软件测量标准,以推动表面形貌仪器分析评定软件的准确性校验。本文以ISO 5436-2为基础,研究开发了表面形貌软件测量标准的网络化应用系统。本文首先探讨了表面形貌软件测量标准研究的背景、理论基础。采用同一数据对来自不同表面仪器的内置软件及英国国家物理实验室(NPL)和美国国家标准局(NIST)开发的表面形貌软件校验系统进行结果对比,由该实例中参数评定结果的差异出发,研究分析了ISO 4287中参数定义的不完全性、模糊性、歧义性及滤波过程中的不确定性问题。其次,探讨了ISO 5436定义的类型F1-标准数据应包含的种类及其产生方法和产生机理,研究了标准数据的文件格式,包括ASCII,SDF(Surface File Format),SMD(Softgauge File Format)格式,在此基础上编制了文件格式的转换程序以方便用户进行不同数据文件格式之间的转换。第三,标准中的一些参数是以连续形式定义的,而实际测量得到的是离散采样值,针对这一问题,采用三次自然样条插值的方法对采样离散值进行连续恢复,从而实现符合标准定义的参数计算;提出了高斯滤波过程中的规范,遵照此规范能更大限度地减少在高斯滤波过程中的误差。最后,开发了表面形貌软件测量标准的网络化应用系统,该系统充分整合了不同软件的优势,以VS.NET为开发平台,利用MATLAB强大的数值计算功能,通过Visual C++将Matlab中的算法以动态链接库(DLL)的形式提供给Web程序进行调用,实现了表面形貌软件测量标准网络化应用功能。