横向AlGaN/GaN肖特基势垒二极管场板结构的模拟研究

来源 :哈尔滨工程大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wang8danyong
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
近些年来,随着半导体行业的发展,第三代宽禁带半导体正逐步成为二十一世纪最受瞩目的材料,其中GaN半导体器件是第三代半导体的典型代表,科学研究人员越来越重视这类器件的研究分析,这是由于GaN和AlGaN相接触时会形成异质结,极化效应的存在会在异质结中间形成二维电子气,氮化物半导体可以工作在高温,高频以及强辐射的环境下,优异的材料特性也使其在未来军事和民用中有着更多的应用潜能。AlGaN/GaN肖特基势垒二极管和AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管HEMT(High Electron Mobility Transistor)是一同发展的,通过多年的不懈努力,AlGaN/GaN肖特基势垒二极管正逐步走向成熟。肖特基二极管的反向阻断特性是众多研究人员重视的方面,最有效提升耐压而不影响正向特性的方式就是在肖特基二极管的阳极上连接场板,所以本文基于传统场板进行仿真研究,通过软件Silvaco TCAD模拟横向场板和几种变型场板,主要的研究内容如下:1.研究横向场板器件的耐压机理,分析横向场板长度和钝化层厚度和击穿电压之间的关系以及内部电场分布状态,并进一步总结其中的规律。仿真浮空阶梯型场板(SFFP),分析相同电压下内部电场分布图和沟道载流子分布,总结浮空阶梯场板比其他场板具有优势的原因,以浮空阶梯场板钝化层厚度和水平位置为研究对象,寻找最优数值。2.参考LDMOS的纵向场板结构,对AlGaN/GaN的肖特基势垒二极管的纵向场板器件(AVFP-SBD)进行了系统的研究,分析纵向场板长度和钝化层厚度对器件击穿电压和内部电场的影响,以及不同参数的下的内部电场分布,最后通过3D电场绘图,总结纵向场板提高耐压机理。3.结合纵向场板和横向场板构成ALVFP-SBD,固定纵向场板的长度和钝化层厚度,对比分析两个器件的反向阻断特性,利用3D电场绘图,总结两种场板的结合对GaN层内部电场的影响。仿真研究了深电极器件的基础电学特性,以及计算三种器件的FoM值,给出可行的深电极器件的主要工艺流程。最后模拟AlGaN/GaN肖特基势垒二极管的温度特性。
其他文献
<正>一、问题的提出2010年岁末参加了陕西师范大学出版总社基础教育研究院在深圳举办的"深圳教育论坛·教育国际化与基础教育教学改革——全国中学高效课堂案例研修展示邀请
期刊
目的:建立梯度洗脱-HPLC法测定复方氨酚苯海拉明片剂中有关物质,并对国内7家企业复方氨酚苯海拉明片的有关物质进行分析。方法:采用Waters XBridge C18(4.6 mm&#215;250 mm,5
随着高速化、轻质化及精密化机械系统的发展,基于小变形假设的传统柔性多体系统动力学建模及分析方法,其无法精确考虑大范围运动与大幅度变形的相互耦合,缺点日渐凸显。绝对
愉快面孔识别优势表现为被试对高兴面孔比对其他情绪面孔的识别正确率更高、反应时更短。大量研究以简笔画和面孔图片为材料,在情绪分类任务和视觉搜索任务中均发现这一优势
为了解决城市交通拥堵的问题,我国的城市正在大力发展地铁建设,地铁车站作为地铁的重要组成部分,对地铁车站交通服务设施进行配置是相当重要的一项任务,当相较于乘客需求配置
课堂上师生互动既是新课程改革倡导的一种教学手段,也是中职课堂教学非常重要的一个环节。但是,当前中等职业教育中出现学生厌学、课堂气氛沉闷、教师“填鸭式教学”等问题,尤其是中职学校专业理论课的课堂,究其根源还是课堂教学中师生互动环节存在纰漏。为了改善专业理论课课堂师生互动效果不理想状况,让课堂教学从被动的灌输知识,走向多元化互动发展路径,实现教师和学生的共同发展。因此,昆明市旅游职业中学专业理论课课堂
家具行业的市场份额逐年增加,尤其是定制型家具成为行业发展热点,市场竞争日益激烈,越来越多的企业开始意识到成本控制对于定制家具企业的重要性,但很多企业在成本控制方面都
从宏观到微观、横向及纵向结合分析方法,对中国传统生土建筑的生态建筑特征及其和生态建筑学的关系做了理论上的探讨和阐述,试图建立生态建筑学的中国传统生土建筑现代化研究
本文探讨翻译过程中以"和谐说"作为择词的标准,从内涵、搭配、意象、语境、面子、语域、语序等方面协调关系,消除异质语言和文化的抵触,使文化传播和交流达到较为理想的境界
从过去到现在几十年的发展,C和C++已经成为商业软件的开发领域中使用最广泛的语言。它们为程序员提供了十分灵活的操作,不过同时也牺牲了一定的效率。与visual basic等语言相