【摘 要】
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软X射线具有与物质相互作用强的特点，在分析物质基本结构有着非常诱人的应用前景。随着软X射线超薄膜制备技术的不断发展，软X射线多层膜反射镜已在多个领域中投入研究与应用，如天文学、生物医学显微镜、极紫外投影光刻技术、X射线激光、高温等离子体诊断等等。多层膜系用于成像光学系统时，周期厚度分布的不均匀性将会破坏光学元件原始加工面形精度，导致成像质量的下降。本文主要针对工作波长为17.1nm的X射线空间望远
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软X射线具有与物质相互作用强的特点，在分析物质基本结构有着非常诱人的应用前景。随着软X射线超薄膜制备技术的不断发展，软X射线多层膜反射镜已在多个领域中投入研究与应用，如天文学、生物医学显微镜、极紫外投影光刻技术、X射线激光、高温等离子体诊断等等。多层膜系用于成像光学系统时，周期厚度分布的不均匀性将会破坏光学元件原始加工面形精度，导致成像质量的下降。本文主要针对工作波长为17.1nm的X射线空间望远镜中的主镜与次镜的膜厚分布均匀性进行控制，其中主镜直径为130mm，曲率半径为7.5m。
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