本课题研究了一种新型的水系显影的负性聚酰亚胺（PI）及其合成方法,该聚合物以4,4-二胺基二苯醚（ODA）和均苯四酸二酐（PMDA）为基本原料,在合成的过程中加入了马来酸酐（MA）作为封端剂,并加入了2-二甲氨基乙醇（DMEA）和2-二甲氨基-乙烷基甲基丙烯酸酯（DMAMA）作为成盐剂和聚酰胺酸（PAA）反应生成聚酰胺酸盐（MA-PAD）,从而使生成的聚合物具有水溶性;另外,MA和DMAMA分子内的双键赋予了此种聚合物光敏的性质。把得到的MA-PAD溶液涂膜,在光掩膜下,经紫外光光照处理,经水显影成像,再升温使其亚胺化,就可得到具有一定力学性能的图案化聚酰亚胺（PI）。本课题对得到的样品进行了核磁共振谱图(¹³C-NMR),原子力显微镜（AFM）,扫描电子显微镜（SEM）,傅里叶转变红外光谱（FTIR）,以及热失重（TG）等测试。通过¹³C-NMR谱图和FTIR谱图可以看出MA已经封端,且DMEA和DMAMA成功与PAA分子链络合成盐;通过SEM图和AFM图可以看到聚酰亚胺薄膜的图案化,并且边界清晰、分辨率较高;通过对样品的TG分析,可以算出在加热过程中小分子DMEA、DMAMA和水的脱除量,从而可计算出参与成盐的链节量。可溶光敏性聚酰亚胺具有优良的光成像性能和力学性能,在微电子加工领域有广泛的应用前景。