目前，制造密封件向着高精度，高性能和高可靠性的方向的快速发展，提出了高要求的平整度和表面光洁度。超精密平面研磨是超精密加工的方法，可以很好地满足加工的尺寸精度高、表面粗糙度低的产品需求。无论是机械抛光还是化学技术抛光，都要求精度高，这要求抛光设备需要采用高刚性结构来实现高效加工。当前，中国的高档超精密磨削设备的设计和制造技术水平不高，抛光机，精密仍严重依赖进口，但价格很贵。因此，我们的高档密封技术研究设计极限磨床制造业和工业的加强，以及对技术的研究和开发利用相关尤为迫切。通过对国内的相关研究工作进行查阅外，本文研究了超精密研磨机的抛光原理与设计方法，提出了超精密研磨机本体，供液系统，抛光夹具和控制系统的改造与设计。针对抛光盘的偏移，选择一个合适的连接调心轴承连接主轴与抛光盘使之自动调节偏移降低震动震动。并通过实验数据的对比，不同抛光压力和速度的抛光效果，从而选着合适的压力与速度。全文主要结论如下：1）超精密平面研磨抛光机床的设计应遵循以下原则：准确性优先，兼顾效率；设备结构简单，尽可能的提高设备的刚度；设备的振动应采取相应的措施来控制；2）在相同的加载条件下(工件材料，工件半径和抛光盘速度)，不同压力下，其工件的去除率及表面质量的不同，加载力越大，去除率越大，加工效率越高；加载力越大当大到一定程度时，其表面质量将提升很小。3）可以通过控制系统设置适当的加载压力值、抛光盘的转速及加工时间，表面粗糙度达到0.05微米以下4）采用组合式夹具，可适应不同的工件进行加工。5）通过自搅拌系统与可调压无阀门机构实现无阀门可调压的自搅拌工业系统回路。6）以C型钢作为主体支架，采用龙门式结构提高刚度，并采用调心球轴承调节主轴偏移减少磨盘的晃动。7）设计完成的新型面超精密平面研磨机，具有高精度、高刚度和高效率的特点，在同等加工质量情况下，产品加工效率和加工成本优于发达国家的同类产品，达到国际先进水平。