【摘 要】
：
随着半导体行业的飞速发展,器件厂家对硅片的高集成度要求日趋迫切,解决的办法就是增大硅片直径,所以近年来国内许多单晶炉生产厂家都在研制大尺寸单晶炉。TDL-150型单晶炉就
论文部分内容阅读
随着半导体行业的飞速发展,器件厂家对硅片的高集成度要求日趋迫切,解决的办法就是增大硅片直径,所以近年来国内许多单晶炉生产厂家都在研制大尺寸单晶炉。TDL-150型单晶炉就是生产Ф300mm大尺寸单晶棒的直拉单晶炉,本文介绍了TDL-150型单晶炉炉体的优化设计过程,对炉底、主炉室、炉盖各个部件进行了自主设计,并完成了全部技术文件。有限元方法是20世纪计算工程科学领域里诞生的最有效的计算方法,其在半导体领域也有极其重要的应用。由于拉晶过程中投料量较大,炉体结构复杂、造价昂贵,引入计算机数值模拟进行单晶炉优化设计对于缩短设计周期,降低生产成本具有重要现实意义。本文对单晶炉温场也做了系统的研究:对石墨加热器进行了热电耦合模拟,确定了化硅电流、电压;在炉体能得到充分冷却的条件下优化了冷却水流速,降低了拉晶成本;确定化硅过程坩埚的位置,使化硅过程顺利进行;对长晶不同阶段的温场进行了全局模拟,得到了长晶各个阶段炉内温场分布,对温场的合理性进行了分析,同时利用Dornberger等人提出的Vc/G(Vc为拉晶速率、G为固液界面上晶体中的温度梯度)理论,对热场进行了讨论,预测了OISF-ring所发生的位置;对炉内氩气流动过程进行了数值模拟,实现了采用新型热屏的炉内氩气流形可视化,并且讨论了氩气流形对单晶硅中碳氧量的影响。
其他文献
目的:评价对胃癌患者应用两种全胃切除手术方式的治疗效果。方法:回顾性分析医院收治的84例胃癌患者的临床资料,其中44例以腹腔镜全胃切除术治疗者为A组,40例以开腹全胃切除
文章主要针对石油化工行业合格污水进行中水回收利用进行实践研究,废水先通过污水预处理将废水内的油脂及悬浮物进行处理,处理后的废水进入生化系统对废水内的有机物及氮磷等
有效市场假说是指,在证券市场中,股票价格完全反映了所有可获得的信息,可以分为弱式有效、半强式有效和强式有效三种形式。但是,以“有效市场悖论”为代表,在市场是否有效的
弹性体发泡材料由于多孔特性,广泛应用在抗冲减震隔音保温等领域。减轻材料重量、提高材料性能一直都是工业界追求的目标,而材料的泡沫化显著地拓宽了其在工程领域中的应用。
本文研究的目的是运用非线性科学理论的核心思想，来解析当今越来越多的具有复杂形体与自由流动特征的建筑，总结非线性建筑的特点，设计方法，以指导具体建筑创造实践。建筑、城市、
20世纪初，以逻辑实证主义为代表的现代哲学家通过对逻辑数学命题和自然科学命题的分析研究提出了可证实性原则，在这种可证实性原则的审察下，他们认为包括伦理道德判断在内的价值
<正> 马克思主义哲学的理论体系是随着唯物史观的创立而建立起来的,这本是个历史事实。然而,在传统的马克思主义哲学教科书中却被忽视了。一度甚至把马克思主义哲学看作是费尔巴哈的“基本内核”同黑格尔的“合理内核”的简单相加。这种肤浅的观点,完全抹煞了马克思在哲学上作出的创造性贡献,模糊了马克思主义哲学和旧哲学的本质区别。迄今为止,我们一直称马克思主义哲学为“辩证唯物主义与历史唯物主义”,这是后人所说,马克思主义哲学创始人并没有称自己的哲学为“辩证唯物主义与历史唯物主义”,却明确地说过,他们的哲学是
目的:评价普通X线平片与CT检查在骨科外伤中的诊断价值。方法:从大庆脑血管医院骨科临床2015年5月—2016年5月收治的外伤患者中,随机抽取100例作为本次研究的对象,均先接受普
<正> 1989年,江苏省哲学学会、江苏省马哲史研究会、南京市哲学学会、南京大学哲学系等14个单位联合召开“马克思主义哲学与现时代”系列研讨会,南京地区近40位专家学者参加了会议。会议就马克思主义哲学的理论结构问题特别是“实践唯物主义”问题展开了热烈的讨论。我们将有关学者的主要观点摘录如下: 肖焜焘(江苏省社会科学院副院长,东南大学教授): 实践唯物主义是马克思主义哲学的本真形态,要真正弄清楚实践唯物主义的科学含义,仅仅局限于马克思主义哲学的逻辑讨论是不够的,而首先要从整个思想史的高度来认识
郑云云 江西省工艺美术大师、中国美术家协会会员、南昌市美术家协会副主席、江西省美协女艺术家委员会常务理事。受聘担任上海虹桥画院副院长兼陶瓷艺术室主任。 浙江慈溪人，江西师大中文系毕业。自小由家父延请名师学习中国传统书画，为国画大师梁邦楚先生关门弟子。1982年开始研习陶瓷艺术，并于2007年在景德镇创办郑云云陶瓷工作室，擅长青花写意花鸟，重彩高温色釉花鸟并兼及人物、山水。曾获中国陶瓷艺术创新金奖