椭圆偏振测量术是一种测量和研究材料表面及其膜层光学特性的先进方法，具有测量精度高、快速和非接触等优点，在物理学、化学、材料及生物医学等领域有广泛的应用。椭偏数据处理是椭偏测量术的重要组成部分。由于椭偏超越方程的复杂性，对各种实际薄膜类型的反演一直是人们研究的课题和热点。本文综述了国内外椭偏数据处理的发展和现状；分析了常见迭代法在椭偏数据处理中存在的问题并进行了改进；吸收了模拟退火法和单纯形算法的优势，提出一种联合算法，用于单波长椭偏数据处理；着重研究和分析联合算法的参数选择、误差来源和联合算法对理想单层透明膜，单层吸收膜，双层透明膜的反演；利用自主研制的HST-3立式单波长椭偏仪对单层透明膜和吸收膜进行了实际测量，同时对数据进行处理。实验表明：模拟退火单纯形联合算法是可行和可靠的。联合算法的进一步完善将大大增强和扩展单波长椭偏仪的功能并使其在实际中获得更广泛的应用。