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光催化技术是近年来兴起的环境友好型技术,具备反应条件温和,工艺设备简单,操作条件易控制,无二次污染,非选择性降解有机物等优点。然而在实际应用中,众多光催化材料普遍存在太阳光利用率低,光催化效果不明显等限制。本文制备AgNPs/TiO_2复合薄膜,研究氧等离子体和空气等离子体辐照提高复合膜光催化效率的工艺和机理。首先,采用真空蒸发镀的方法制备不同厚度的TiO_2薄膜,在其表面沉积相同量的AgNPs,研究TiO_2厚度对复合薄膜光催化效率的影响。结果表明,随着TiO_2厚度的增加,复合薄膜光催化效率逐渐