【摘 要】
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该文从MEMS中比较典型的一种器件——微加速度计入手,分析了由于微型化而产生的一些新设计思想,并就几个典型的力学问题进行了探讨.全文主要包括三部分的内容:第一部分,介绍
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该文从MEMS中比较典型的一种器件——微加速度计入手,分析了由于微型化而产生的一些新设计思想,并就几个典型的力学问题进行了探讨.全文主要包括三部分的内容:第一部分,介绍了加速度计的一些基本原理和设计思想,并结合微机械加工技术对于结构的一些限制,提出针对微加速度的设计和制备的一些基本方法.然后详细介绍了利用体硅微加工技术制造出的一种电容式微加速度计的设计、制备、测试的全过程.第二部分,对于微加速度计的失效问题进行了研究,重点针对冲击载荷作用对于结构破坏所产生的影响.分析了微梁结构在冲击载荷下的断裂情况.发现微梁的断裂主要集中在根部应力集中和,计算模拟也显示了这种现象.另外,还有一些其他因素,如表面粗糙分布不均匀,对微梁结构的断裂性质也会造成影响.第三部分,讨论了微机械中一个主要的科学问题——表面效应.分析表面力在微尺度接触问题中的作用,对于表征微尺度粘差接触理论的两个无量纲数Tabor数μ和粘着数θ进行了阐述和总路线,指出了这两上无量纲数中所包含的尺寸效应.同时,引入表面粗糙度对于表征微梁、板等结构与衬底的粘附问题的无量纲数——"剥离数"进行修正,得到表面粗糙度对于粘附性能的影响关系.
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