【摘 要】
：
该文从MEMS中比较典型的一种器件——微加速度计入手,分析了由于微型化而产生的一些新设计思想,并就几个典型的力学问题进行了探讨.全文主要包括三部分的内容:第一部分,介绍
论文部分内容阅读
该文从MEMS中比较典型的一种器件——微加速度计入手,分析了由于微型化而产生的一些新设计思想,并就几个典型的力学问题进行了探讨.全文主要包括三部分的内容:第一部分,介绍了加速度计的一些基本原理和设计思想,并结合微机械加工技术对于结构的一些限制,提出针对微加速度的设计和制备的一些基本方法.然后详细介绍了利用体硅微加工技术制造出的一种电容式微加速度计的设计、制备、测试的全过程.第二部分,对于微加速度计的失效问题进行了研究,重点针对冲击载荷作用对于结构破坏所产生的影响.分析了微梁结构在冲击载荷下的断裂情况.发现微梁的断裂主要集中在根部应力集中和,计算模拟也显示了这种现象.另外,还有一些其他因素,如表面粗糙分布不均匀,对微梁结构的断裂性质也会造成影响.第三部分,讨论了微机械中一个主要的科学问题——表面效应.分析表面力在微尺度接触问题中的作用,对于表征微尺度粘差接触理论的两个无量纲数Tabor数μ和粘着数θ进行了阐述和总路线,指出了这两上无量纲数中所包含的尺寸效应.同时,引入表面粗糙度对于表征微梁、板等结构与衬底的粘附问题的无量纲数——"剥离数"进行修正,得到表面粗糙度对于粘附性能的影响关系.
其他文献
因地制宜积极发展麦棉套种,是北方棉区增加复种面积,提高土地和光能利用率,夺取粮棉双丰收、双增产的新途径,也是随着生产条件的不断改善,科学种田水平的日益提高,“向生产
图象信息题以社会生活实际问题为背景,除了考查学生基础知识和读图能力外,还同时考查了学生的数学建模能力和运用所学知识解决问题的能力.随着课程改革的深入实施,以考查学生
二次函数是初中数学函数中的主要内容之一,也是初中数学和高中数学相联系的重要纽带,近年来中考题以二次函数为背景的综合题是热点之一.本文对二次函数的考点作简要的归纳与
我刚从连队调到某部政治处当报道员时,地方一家广播电台的编辑来部队约一篇反映战士爱军习武的新闻稿子。首长把这个任务交给了我。接到任务后,我把自己关在屋子里,苦思冥想
构造一元二次方程既是一种重要的数学方法,又是一种常用的数学思想.某些非一元二次方程问题,若能抓住特征则可以通过构造一元二次方程来解决.怎么构造一元二次方程呢?下面归
该文提出了二维结构极限下限分析的Galerkin 边界元方法.基于下限定理,采用Galerkin边界元方法对结构进行离散化,利用Galerkin边界元方法计算效率高和应力精度好的特点,建立
关于二次方程两根的符号或范围问题是一类综合性强、难度较大的问题.本文通过两例介绍这类问题的几种求解方法.
The problem about the sign or range of two quadratic equ
同学们都能熟记一元二次方程的根与系数的关系,但在应用时却经常发生这样或那样的错误,现结合近几年的中考题加以评析.一、要将方程化成标准形式
Students are able to memo
对三维复杂井眼条件下的波场进行模拟和分析是国内外研究的难点。声波测井三维数值模拟技术，可用于新型声波测井仪器研究中的理论模拟和实际测井资料的反演。在双侧向测井正、
该文回顾了国内外水溶采矿的发展和现状,指出了中国在水溶开采技术、理论研究以及溶腔利用等方面与世界先进水平的差距.鉴于单井对流法在水溶采矿中的重要地位,该文对其进行