细胞生物医学、纳米材料科学、半导体制造以及宇航工程等前沿领域的发展离不开微纳精密驱动技术的广泛应用,这些应用场合普遍需要具备实现多个自由度的纳米级位移分辨率和毫米级运动范围的驱动能力。多自由度压电冲击驱动机构凭借高分辨率、大行程、结构紧凑、控制灵活、成本低等优点表现出良好的发展前景。与串联结构相比,并联机构能够实现更加紧凑的结构,更适合诸如扫描探针显微系统等狭小空间的精密定位操作场合。本文提出了一种二维并联压电惯性驱动平台,设计并研究此类精密定位平台的主要工作内容和创新点包括:(1)基于对称柔性放大机构设计二维并联压电惯性驱动平台的基本结构,分析其工作原理和驱动方式。构建二维惯性动子的有限元仿真模型进而进行静态和模态仿真,优化二维惯性动子的结构参数。(2)构建包含拓展Karnopp摩擦模型的二维矢量化动力学方程,通过实验测试和结构仿真确定动力学参数取值。建立Simulink动力学仿真模型和仿真分析二维平台惯性驱动的运动特性。(3)制作二维并联压电惯性驱动平台的原理样机,搭建实验测试平台,测试惯性动子的振动特性和二维平台的运动特性。实验结果表明:该二维并联平台具有运动行程大、位移分辨率高、负载能力强等良好的综合驱动性能。