电子束选区熔化（Electron Beam Selective Melting，EBSM）技术是一种金属材料的快速制造技术。从1994年提出电子束金属快速成形的概念至今，电子束选区熔化成形技术的产品已经应用于医疗、国防、航天等多个领域。进一步拓展电子束选区熔化产品的应用范围，需要提高电子束选区熔化成形零件的尺寸、精度和质量。现有的电子束偏转控制系统存在较大的电子束偏转定位误差，在较大范围扫描时电子束束斑直径增大降低了电子束功率密度和成形精度。本文针对以上问题，开发了电子束选区熔化数字式扫描控制系统。本论文首先讨论了实现精确到点的电子束偏转和聚焦控制所需要的硬件基础和控制软件。根据偏转精度要求和数据传输速率的要求选择了一款4通道的高速任意波形发生器，并利用VC++开发数字式自动成形控制软件，为数字式偏转误差纠正和动态聚焦奠定基础；同时实现了新的数据存储方式，打破了原系统中扫描路径只能为简单线段排列的限制，方便用户实现多种扫描路径。从提高电子束偏转精度出发，分析了电子束偏转误差的主要原因——电子束在磁场中的非线性偏转。基于电子束偏转中数字控制量与扫描偏转量的对应关系，用图像处理的方法准确提取纠偏网格中所需的角点坐标，并用插值算法建立偏转量与控制量之间的误差纠偏表。实验结果表明该数字纠偏方式可以大幅度的提高电子束偏转精度。从成形中维持恒定的电子束束斑直径出发，分析了电子束在偏转角增大时束斑发散的原因。基于理论推导和实验结果，计算出扫描空间中每个点所对应的动态聚焦电流，并建立偏转量与聚焦电流补偿量对应的聚焦补偿表。实验结果表明数字式动态聚焦可以控制电子束的聚焦束斑尺寸。探索了利用动态聚焦实现光栅扫描的方法。光栅式扫描在X、Y两个方向扫描频率恒定，可消除由于扫描波形频率变化引起的偏转误差，及扫描线段长度变化导致的不良热效应。研究实现了动态聚焦光栅扫描数据的存储模式，实现了动态聚焦光栅扫描的雏形，并用实验验证该模式的可行性。