太赫兹波在成像技术、医学、生物学、安全检查等方面有很好的应用前景和科研价值。自由电子激光太赫兹源，具有波长可调、平均功率高等特点。波荡器是自由电子激光装置的关键设备，而波荡器的磁场性能将是决定激光品质的重要因数。　　本文主要围绕太赫兹FEL(Free-electron-laser)中的波荡器进行。首先根据指标设计了平面永磁型与平面混合型两种波荡器方案，选择合适的计算软件和铁磁材料，计算出波荡器峰值场、谐波、一二次积分随波荡器磁块尺寸的变化规律，最后选出最优尺寸。由于波导的磁导率不为零，使得波荡器磁场峰值增加。计算了磁导率变化给磁场分布和一二次积分带来的增长。在波荡器实际加工中永磁块的磁化不均匀导致剩磁大小和方向不均匀，磁块切割加工时厚度不均匀，安装调节间隙不均匀。本文分别绘出了这些误差与峰值场误差、一二次积分、谐波、相位误差的关系图。由此得出了磁块选配的要求。基于工艺误差与磁场性能的相关性，对两种方案进行了比较。最后编写了悬线法积分场测量系统的运动控制程序，并实验验证测量方法的可靠性。