半导体器件计算机模拟数值方法研究

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该文对半导体器件模拟的核心算法进行了系统研究,并探讨了其并行计算问题.论文总体安排如下:第一章说明了半导体器件数值模拟的意义、研究内容、发展历史和现状,并描述了半导体器件数值模拟中需要求解的问题.第二章给出半导体器件模拟的漂移扩散模型,讨论了该模型所用到的物理参数模型,确定了其边界条件,从而将半导体器件求解的核心问题转化为求解一组偏微分方程的问题.第三章研究了半导体漂移扩散模型中偏微分方程组的离散方法,包括有限差分法、有限元方法和区域分解算法.第四章系统研究了大型稀疏系数矩阵线性方程组的迭代算法,建立了大型线性方程组迭代求解算法库;针对CGS算法收敛过程不平稳的特点,以双正效共轭梯度迭代过程多项式表示的基础上,提出了两种改进的CGS算法.第五章进行了半导体器件模拟软件系统的设计.
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