加速度传感器是应用最为广泛的一类传感器。近年来在石油勘探需求的推动下,高性能的低频加速度传感器的需求空间更大。微机械(MEMS)光纤加速度传感器是一种新型的加速度传感器,它是将微机械(MEMS)技术与光纤传感技术结合到一起,有利于在传感器的低频特性、一致性以及灵敏度等方面有所改善和提高。　　 本文研制了完整的MEMS光纤加速度传感器系统,包括基于MEMS技术加工出来的MEMS传感头,基于光纤载波相位调制(PGC)和斐索干涉仪的光纤读出光路部分,以及基于DSP芯片的信号解调算法及数字化实现等。　　 本文的工作主要包括:　　 (1)提出了一种基于MEMS技术的光纤加速度传感器系统新架构,此架构将MEMS样品一致性好、易于批量制各和光纤高灵敏度读出技术相结合,为高灵敏加速度传感器提供一套新的途径;　　 (2)研制了基于MEMS技术的“敏感质量块-振动膜-带有阻尼孔的背板”机械传感头,此传感器头采用了高度对称的环形振动膜,敏感质量块受力均匀分布,提高抗其它方向加速度干扰的能力。推导了机械结构的集总等效参数,计算了敏感质量快的位移幅度等关键参数,进行系统灵敏度的理论推导。　　 (3)设计了光纤相位载波调制(PGC)和斐索干涉技术的光纤读出部分,选取传感臂与参考臂共用一条光纤的斐索干涉仪,对激光器驱动电路进行了仿真验证。并设计了固定自聚焦透镜的支架和传感器的封装,最终实现了机械结构与光路部分的组装,形成一个完整的加速度传感器探头。　　 (4)研究了相位生产载波(PGC)信号调制解调方法,并在DSP芯片上实现了数字化解调。研究了影响动态范围的关键参数选取,讨论了信号延迟、伴生振幅等因素对解调的影响,对于需要测量的低频信号,进行了算法优化。　　 最后,完成了整个微机械(MEMS)加速度传感器实验系统的研制,并进行了实验测试和分析,采用了同时比较方法测量该传感器系统的相位灵敏度,在低频具有较平坦的频率特性,灵敏度最高可达28dB(ref1 rad/g),基本达到了设计的要求。