慢正电子束流装置及氧化钨薄膜变色机理研究

来源 :中国科学院研究生院 中国科学院大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ks00459
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该文从微观角度入手,利用特有的慢正电子束流装置,结合其它分析手段,对不同方法制备的WO<,3>薄膜变色性能及机理进行了研究.作者组装、调试并升级改造了基于<,22>Na放射源慢正电子束流装置,详细叙述了装置各功能部件的设计原理及实际应用.通过实验检验了系统的稳定性和可靠性.根据慢正电子束流在WO<,3>薄膜变色过程中测量结果,从电子结构角度提出了新的变色机理,成功的解释了不同结构WO<,3>薄膜变色性能的优劣,同时也证实了膜表面的吸附作用.对人们尚未涉足的富氧WO<,3>薄膜研究发现,在膜中氧富集的情况下仍具有较好的变色性能,提出了相应的注入模型,并研究了退火气氛对变色性能的影响.在退火过程中和不同工艺条件下,发现了WO<,3>膜结构中相转变过程.研究了磁控溅射镀膜过程中,工作气体压强及组分对膜结构及变色性能的影响.真空热蒸镀和磁控溅射法制备的具有疏松结构的WO<,3>薄膜具有优异的变色性能,并研究了其疲劳特性和着色持久性能.对双层膜结构、电致变色与热、光致变色的关联进行了摸索研究.
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