利用激光干涉光刻成本低、高效率和分辨率高的优点,分别在单晶硅和非晶硅薄膜表面进行光刻实验并实现大面拼接,对实验样品特征参数进行检测,研究参数对可见光波段反射率和表面润湿性的影响。论文介绍了减反射和润湿性两种仿生结构的研究现状、总结了微纳结构特征参数的检测方法。以激光干涉理论为基础,利用计算机对干涉图形进行模拟仿真。通过改变相关干涉参数,模拟出各参数设置下的二维、三维光强分布图及对应的光强分布曲线,搭建干涉光路,在单晶硅表面进行干涉实验。在单晶硅研究的基础上对非晶硅薄膜表面改性,并研究其减反射性。使用二维微位移平台进行大面积拼接实验,从而实现大面积仿生结构的制备。用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对激光刻蚀后的单晶硅和非晶硅薄膜表面结构特征参数进行检测,并使用反射率测量仪、接触角测量仪对改性后的单晶硅和非晶硅薄膜表面反射率和润湿性进行测量,分析结构特征参数对减反射性能和润湿性的影响。