三代像增强器是增强微弱光学图像的真空成像器件,是微光夜视技术的核心器件之一,应用领域广泛。由于GaAs外延材料生长及阴极组件研制过程中造成的缺陷,对三代微光像增强器的成像质量具有一定影响,所以优质的GaAs外延材料是实现激活高灵敏度阴极的先决条件,是提高像增强器成品率的基础。本课题所研究的组件针孔疵病检测仪可用于对GaAs基片和GaAs阴极组件表面瑕疵进行检测,统计不同区域的瑕疵信息,淘汰不合格产品,提高组件的性能。本文阐述了组件针孔疵病检测仪的硬件结构体系,说明了各个硬件的结构和功能;详细介绍了组件针孔疵病检测仪的软件设计模块,描述了各模块的作用,并实现软硬件交互。基于目标提取的原则,讨论了图像分割中阈值分割的基本理论和方法,并在此基础上提出一种可同时对GaAs基片和阴极组件表面瑕疵进行检测的算法;提出海量图片无缝拼接算法,利用坐标平移和图像缩放实现无缝拼接;为了克服单个瑕疵跨越多张图片导致的瑕疵个数误计,提出瑕疵整合算法,同时增加描述瑕疵信息的方式,从而准确而完整地获得GaAs基片或阴极组件表面的瑕疵信息。组件针孔疵病检测仪设计了友好的用户界面,并实现计算机自动控制,大大提高了检测效率和准确度,并节省了人力资源,有利于提高GaAs阴极组件的制备质量和效率,加快三代微光器件的研究进程。