随着我国工业化和城市化的迅速推进，土地短缺已开始成为制约我国社会经济可持续发展的瓶颈。目前，我国长三角、珠三角经济相对发达地区的工业园区仍不断拓展，工业用地在城市建设用地中比重过高的现象呈现进一步加剧的趋势，已成为导致大量优质耕地被侵占的重要原因。与此同时，一些地方的工业用地利用表现得极为粗放，并且用地效率十分低下.可见，研究工业用地效率及其影响因素，对城市土地经济承载力的提高，以及资源集约节约型社会实现具有重要的理论和现实意义。 从经济效率自身投入产出的角度出发，在剖析效率评价常用方法的基础上，分析了与工业用地特点相符合的效率评价方法的选择使用，并设计出以数据包络分析( Data Envelopment Analysis，DEA)为主导的工业用地效率评价方法应用的建模流程。以浙江省为研究靶区，以县(市)为基本研究单位，运用DEA方法对1996年以来全省的工业用地效率进行测度和评价，得到各县(市)历年的用地规模效率、纯技术效率和总体规模效率值，从而揭示浙江省工业用地效率的总体状况。在工业用地效率测算的基础上，进而剥离得到浙江省各县(市)用地规模效率值，分地级市进行归并处理后，对不同地级市的用地规模效率进行地区差异分析.然后运用效率损失分析给出各地级市的用地效率最优规模，并提出各地级市工业各投入要素的调整方向和调整空间。最后，运用Tobit模型对浙江省各县(市)进行了用地规模效率影响因素回归分析。回归结果表明，资本的投入有助于用地规模效率的提高，用地规模过大是效率低下的重要原因，产业差异引起的不同用地性质也是引起各县(市)效率差异的一个主要因素，工业增加值和县(市)地域差别对效率值没有显著影响。同时针对分析结果，提出了相应的政策建议。 研究表明，基于DEA和Tobit模型相结合的工业用地效率评价在方法上具有很好的有效性，不仅评价了用地规模效率、纯技术效率和总体规模效率，并可以进一步对其影响因素进行深入分析，本研究设计的评价流程和模型可为类似区域的工业用地效率评价提供借鉴。