现代科学技术的飞速发展和市场竞争的加剧给半导体制造企业带来了前所未有的机遇和挑战。半导体企业为了提高自身的竞争力，将不得不考虑生产线设备故障对生产能力、生产成本，产品质量以及供货期和市场占有率的影响。设备预防性维修问题的研究对于提高设备可靠度和整条生产线的利用率，降低产品生产成本和加快企业对市场的反应速度均具有重要意义，因而受到了广泛的关注。文章对“预防性维修周期”的制定进行了深入的研究，列举了制定预防性维修周期的三种方法，阐述了在市场经济下平均维修费用最少的预防性维修周期的意义和必要性，研究了在离散情况下，预期故障次数与预防性维修周期的关系。本文的预防性维修研究是在深入了解了半导体生产线的生产过程和生产特点的基础上，基于以可靠性为中心的维修理念，对生产设备的预防性维修周期问题进行研究，建立了设备预防性维修的费用模型，该模型综合考虑了修复性维修成本、预防性维修成本和生产损失成本，并以故障分布形式为威布尔分布的设备为例，针对不同的维修策略，利用仿真的方法对预防性维修周期进行优化选择，阐述了经济原则对预防性维修周期的影响。然后将仿真研究从单台设备推广到典型的半导体五机六步生产线模型，来研究多台设备情况下的预防性维修周期的仿真。最后，对论文的工作进行了总结，对未来的研究工作进行了展望。