微纳米通道的封闭是微纳米流体系统加工的关键，如何以高精度、低成本、简单快捷的方式封闭纳米沟槽结构已成为一个亟待解决的重要问题。本文在总结现有通道封闭技术的基础上，提出了两种创新性的聚合物SU-8沟槽结构封闭技术，即逆向热键合技术和液气平衡技术，并对这两种技术的相关工艺和封闭机理进行了分析和探究。逆向热键合技术利用UV胶带在紫外曝光前后粘附力变化的特点，通过浇注转印在UV胶带上获得了SU-8沟槽结构，并根据界面间粘附能的差异实现了SU-8沟槽结构的两次转移。UV胶带柔性的特点使沟槽结构与Si基底上封闭胶层实现了紧密贴合，从而改变了以往在硬质基片上制作沟槽结构然后封闭的方法。通过改变封闭层SU-8胶的厚度，获得了不同尺寸的纳米通道，建立起胶层厚度和纳米通道尺寸的精确的线性关系。采用Fluent软件模拟SU-8胶填充形成通道的机理，阐述了在毛细力的作用下，通道形成凹液面的原因。液气平衡技术利用SU-8胶在流动过程中接触线产生迟滞的原理，实现对沟槽结构的封闭。封闭后流体产生的毛细力将对沟槽内的空气进行压缩，同时空气也从未固化的SU-8胶层中渗透出去，最终毛细力与剩余被压缩的空气压强平衡，形成纳米通道，理论分析与实验结果共同验证了这一点。沟槽尺寸对SU-8胶流体封闭后形成的纳米通道的形状有着重要的影响，深宽比较大的沟槽将形成弯月面通道，而深宽比较小的沟槽将形成圆形通道，有限元软件Fluent模拟验证了上述两种通道形成的机制。