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基于Sb掺杂β-Ga_2O_3薄膜/p-Si异质结紫外探测器和丙酮气敏传感器的制备及性能研究
【摘 要】
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β-Ga_2O_3是一种宽禁带半导体材料,其带隙值为4.9e V,具有高击穿电场,良好的热稳定性及化学稳定性,易制备等特点。这些特点使得β-Ga_2O_3在光电探测器、功率器件、气敏传感器以及透明电极等领域具有广泛的应用前景。本文采用化学气相沉积法在p型Si衬底上生长出了不同含量Sb掺杂β-Ga_2O_3薄膜,并基于Sb掺杂β-Ga_2O_3薄膜/Si异质结分别制作出自供电日盲紫外探测器与丙酮气敏
【出 处】
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辽宁师范大学
【发表日期】
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2021年08期
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