虚光栅移相莫尔条纹法是一种基于虚光栅技术、移相技术和莫尔技术的载频图像处理方法，这种方法处理一幅加有载频的干涉图时，可以实现干涉条纹的移相的效果，而且没有移相误差。待测干涉图与计算机生成的四幅移相参考干涉图叠加，形成莫尔条纹，然后对莫尔条纹图进行滤波得到四幅移相干涉图，采用移相算法可以从这四幅移相干涉图中提取被测波面信息。本论文详细介绍了虚光栅移相莫尔条纹法的原理，编写了相应的处理程序。在对莫尔条纹图滤波的过程中，应用空域滤波和频域滤波两种方法，分别进行了滤波器的参数选择，并对两种滤波方法的效果进行了比较。对算法进行了误差分析，分析了干涉图延拓对结果的改善程度。对实际干涉图进行了处理，并与ZYGO的测试结果进行比对，结果吻合，从而证实了这种方法的可行性。最后对虚光栅移相莫尔法进行了相关应用研究，进行实验，给出了实验结果。