垂直腔面发射红外激光器的研究

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论文主要是设计出了波长为980nm的垂直腔面发射激光器。VCSEL具有体积小、发散角小、阀值电流低、可实现光纤耦合、利于二维集成等特点。激光器具有的上述特点以及其独特的出光方式,使得该器件在实际的应用中具有很好的发展前景。在论文中,主要是通过深入的理论分析来研究垂直腔面发射红外激光器的原理以及具体的制作流程,具体内容如下:  首先,在反射镜的结构设计中,采用的是分布布拉格反射镜作为垂直腔面发射激光器的反射镜,这种反射镜可以使反射率达到99%以上。在光腔的设计中,主要是设计光腔的长度以及在有源区中采用了多量子结构。氧化限制层的设计中,首先是对限制层的结构进行分析,然后详细地阐述了该层的作用。  其次,在第三章中主要阐述了制作的工艺流程,工艺流程主要分为:湿法腐蚀工艺、氧化工艺以及欧姆接触。此外,在外延生长的过程中,主要是采用了分子束外延技术的方法来完成生长。  最后,对研制出的激光器进行测试,在测试过程中,主要是通过有限元对激光器进行热分析以及对激光器的光电特性进行测试。
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