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超精密机械加工、集成电路制造技术、航天技术等现代高新技术的不断发展，对超精密定位技术提出了新的要求。在新的运用中，我们不但要求它具有良好的定位精度，还要求它具有优良的动态特性。压电陶瓷微位移器具有位移分辨力高、频响高、承载力大、控制简单、没有发热、不易受外界电磁场干扰等优点，广泛运用于超精密定位系统中。压电陶瓷是由逆压电效应工作的，其定位精度与其驱动电源的动、静态性能直接相关。本文对比了各类压电陶瓷驱动电源原理，采用误差放大式驱动电源方案，设计了压电陶瓷驱动控制系统。本文的主要工作内容如下：（1）压电陶瓷数字驱动控制器研制以Altera公司cyclone系列FPGA为主控芯片，设计了压电陶瓷数字驱动控制器，包括数据采集模块、数模转换电路、键盘显示模块等。设计基于FPGA的DDS信号发生器，实现频率、幅值可调的正弦波、三角波、方波等控制信号输出。（2）压电陶瓷驱动控制电源箱研制研制125V输出精密线型直流稳压源，为驱动控制系统提供稳定的供电；完成误差放大式驱动电源与高压运放式驱动电源设计，详细分析了影响驱动电源纹波、频响指标的因素，并探讨了运算放大电路的稳定性问题；为方便使用，将压电陶瓷驱动电源集成化后装箱，并完成装箱测试，此驱动电源频率响应达到4.1KHz，纹波小于10mV。（3）搭建压电陶瓷微位移工作台，并测试微位移平台的性能指标。