【摘 要】
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硅微压电传声器是一种可应用于电声、超声和水声的微传感器.但是现今硅微压电传声器的灵敏度较低,该文为了提高灵敏度,同时也为了提高成品率,提出了三种结构上的改进:1)用较
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硅微压电传声器是一种可应用于电声、超声和水声的微传感器.但是现今硅微压电传声器的灵敏度较低,该文为了提高灵敏度,同时也为了提高成品率,提出了三种结构上的改进:1)用较厚的复合基底膜代替单层膜.2)电极由单电极改为分割的串联电极结构.3)用圆形振动膜代替方形振动膜.这些改进都在不同程度上提高了灵敏度,尤其是我们制备的串联电极圆形振动膜硅微压电传声器,比过去一般的单电极方形振动膜硅微压电传声器灵敏度提高了30dB(ref.1V/Pa).而成品率由30﹪提高到超过90﹪.该文中硅微压电传声器的压电薄膜采用氧化锌薄膜,基底膜采用氮化硅或者氮化硅/氧化硅/氮化硅复合膜.该文还进行了各种结构的硅微压电传声器的工艺实验及其实现.
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