小型化高精度数字式微机械加速度计的设计与实现

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近年来高精度电容式微机械加速度计成为微机械领域的研究热点,成果也层出不穷。本论文旨在设计一款小型化高精度的数字式三轴加速度计,以满足导航、航空航天等高端领域的应用需求。论文首先调研了电容式微机械加速度计的研究进展,介绍了电容式微机械加速度计的理论模型。然后对单路载波调制型电容检测电路的噪声、温漂以及不对称性进行了分析。分析结果表明,检测电路的噪声主要来源于电容电压转换电路,电路的不对称性不会影响系统线性度,但是增加了额外输出偏置,并且当不对称性较大时会影响输出噪声。论文还对敏感元件的
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