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MEMS加速度传感器需要外界提供电源才能正常工作。在这样的背景下，论文提出了一种基于柔性材料的自发电加速度传感器，该传感器基于摩擦发电效应，将环境中的机械能转变成电能，并通过产生的电学信号来检测外界加速度信号。论文主要研究内容如下: 首先研究了柔性发电材料PDMS的制备方法与图形化工艺——先利用各向异性湿法腐蚀技术制作出模具，再将模具上的图形转移到PDMS薄膜上。 然后分析了自发电加速度传感器的工作原理;建立其数学模型，来反映输出电压和输入加速度之间的关系;模拟结果表明，PDMS薄膜微金字塔结构间距为10微米时传感器的灵敏度，比PDMS薄膜微金字塔结构间距为20、30、40和50微米时传感器的灵敏度更大;分别使用微金字塔结构间距为20和10微米的PDMS薄膜制作了传感器样品S1和S2，测量结果表明，在80Hz频率、1.5～5.5m/s2加速度范围内，样品S2的灵敏度比样品S1的灵敏度更大;制作传感器样品S3和S4，用于传感器输出性能测量，实验结果表明，样品S3在1.6～5.5m/s2加速度范围内，灵敏度为1mV/(m/s2)，非线性为0.86％，样品S4在1.3～5.7m/s2加速度范围内，灵敏度为1.33mV/(m/s2)，非线性为0.64％;将传感器样品Z用于LED发光实验，收集25分钟振动台以80Hz，10m/s2振动加速度产生的能量可以成功点亮一个黄光LED灯;对传感器样品S5、S6和S7分别进行7000g、10000g和15000g冲击实验，通过SEM照片发现冲击实验后PDMS薄膜表面出现了纹理状的褶皱，测试结果表明三种样品冲击实验后，仍能正常工作。 最后考虑负载效应，利用建立的等效电路模型，分析了测量仪器内阻对测量自发电加速度传感器开路电压的影响。利用示波器（接入100MΩ探头）和采集卡(1MΩ内阻)，对基于PDMS、PET和ITO薄膜制作的摩擦式纳米发电机(TENG)的开路电压进行测量，结果表明测量仪器内阻相差100倍，其测量开路电压的测量结果相差10倍。