常规硅晶切割废砂浆的回收方法受制于酸碱等化学品的影响,会对环境造成严重的污染。本课题在原工艺生产的基础上,提出了以水力旋流器为基础的物理分离方法,并围绕旋流器开发了硅晶切割砂绿色再生工艺装备。主要成果如下：1)开发了6μm分级水力旋流器。首先根据旋流分离的理论,确定6μm分级旋流器的基本构造,然后利用Fluent软件进行模拟分析,优化结构参数；并确定旋流器的基本工作状态参数：旋流器进口砂浆体积浓度为2%～3%、进口压力为0.35MPa。2)搭建了以单体旋流器为基础的实验平台,确定了旋流器的具体操作参数及规律：最佳进口压力为0.35MPa、砂浆体积浓度2%～3%、分流比为1/2.1,旋流器的分离效率随着压力的升高而先升后降、随着体积浓度的升高而降低、随着分流比的增加而先升后降。3)工业开车成功。制造了处理量为1吨砂饼/小时的硅晶切割砂绿色再生工艺装备,通过工业开车运行,完成了水的循环使用,得到的碳化硅产品纯度为97%,6～11μm区间内颗粒集中度为78%,目前装备已进入稳定工业化生产阶段。