微结构化后的光学元件表面具有抗反射特性,这种特性在降低硅太阳能电池和光电探测器的表面反射损耗,提高光电转换效率方面具有重要的意义。微结构表面的减反特性与微结构参数有关,本文研究玻璃和晶体硅表面的微结构及其反射特性,采用等效介质理论分析计算了表面微结构的反射特性,对结构参数进行了优化设计。本文利用等效介质理论研究分析了玻璃表面上具备亚波长光栅形貌的微结构时的减反射特性,通过计算分别得出可见光波段,30度入射角范围内玻璃表面反射率小于1%的一维亚波长光栅结构和50度入射角范围内反射率小于1%的二维亚波长光栅结构,给出了结构参数；针对晶体硅表面,设计一种亚波长光栅与Si02相结合的组合式减反射结构,利用等效介质理论、薄膜光学原理和材料的色散理论,通过计算模拟得到,一维矩形亚波长光栅与Si02相结合,光栅蚀刻深度为0.055μm,占空比为0.55,Si02减反射膜的厚度为0.1 u m时,若入射角为零度,加权平均反射率为5.01%,入射角在0°到60°范围之间变化,在这一范围内的加权平均反射率约为6.25%；二维矩形亚波长光栅与Si02相结合,光栅层的蚀刻深度为0.055μm,占空比为0.3,Si02减反射膜的膜层厚度为0.098 u m时,如入射角为零,在硅的光谱响应范围内的加权平均反射率仅为2.02%,入射角在0°到60°范围之间变化,在这一范围内的加权平均反射率约为3%。本文设计的亚波长光栅减反射结构可以分别实现玻璃表面和晶体硅表面在大入射角范围、宽光谱波段内的低平均反射率,将使晶体硅光伏电池的表面反射损失大幅降低,有利于光电转换效率的提高。