电解加工是利用电化学反应在阳极工件表面蚀除多余的金属材料来实现加工目的的加工方法。在电解加工过程当中，是以“离子”方式不断地溶解金属材料，工具电极和被加工工件之间没有直接接触，不产生宏观切削力，在零件加工后没有变形和残余应力，利用超窄脉冲电流很好地控制电解加工的定域性，使电解加工将成为微细加工的一种重要加工方法。由于现在制造技术逐步向精密化、微小化的水平趋势发展，金属零件的微细加工是现代制造领域的一个加工难题，研究利用电解加工工艺实现金属的微细加工具有重要意义。微细电解铣削加工是简单的工具电极（柱状、球状等）在数控系统控制下按照预先编辑好的数控程序进行类似机械铣削的三维运动，实现所需三维形状的微结构的加工。在本文中，通过微细电解加工双电层工作原理的研究，阐述了在铣削加工过程当中，铣削层厚度对形位精度的影响。通过超短脉冲电解铣削加工机理的分析，设计了微细电解加工系统和试验平台。本文分析了影响微细电解铣削加工的因素，其中包括微细电解铣削加工加工间隙受力作用、加工间隙中电场作用、加工间隙中流场作用，并且对流场进行了仿真分析，最后是电极转速对微细电解铣削加工的影响，为微细电解铣削加工试验提供理论基础。微细电解加工系统包括机械与电气两个部分。工具电极在线制作模块、工作台、加工在线观测设备、伺服进给机构构成了机械部分。超窄脉冲电源、加工状态检测部分、电源保护电路等构成了电气组成部分。最后本文对超短脉冲电流微细电解加工的工艺进行了研究，包括微细电解加工钻削微小孔、微细电解铣削加工。通过设计微细电解铣削加工伺服进给方式，对微细电解铣削加工进行了可行性试验以及分层微细电解铣削加工试验，加工复杂形状的微结构，都取得了较好的试验效果。