我国半导体产业正在飞速发展,而封装技术则是影响半导体产业发展的非常重要的一个环节。半导体的封装技术的优劣是至关重要的竞争因素,与市场上大部分的半导体机械设备相比较,固晶机的固晶精度、速度、稳定性等有着明显的优势。伺服系统在机电设备中的地位相当高,而高性能的伺服系统又能够提供灵活、方便、精确和快速的运动控制作用。因此,研制高精高速的伺服系统可以提高国内固晶行业水平。本文首先分析了固晶机对伺服系统的功能要求,依据其功能要求对伺服系统的相关硬件及软件系统进行设计。硬件设计,由伺服系统总体结构可知运动控制模块是固晶伺服系统的主要模块,在此基础上提出伺服系统的硬件总体设计方案。设计时选用TMS320F2812为核心芯片,再依据硬件总体设计方案对伺服运动控制系统的各个部分进行具体的设计,主要包括DSP主模块、电机控制模块、PCI通信模块等。软件设计,根据固晶机对伺服系统的功能要求提出软件总体设计方案,包括DSP侧和PC侧两块的软件设计工作。DSP侧的软件设计主要包括系统驱动程序、DSP主控程序等;PC侧主要有硬件层、功能接口层及用户层等。其中硬件层实现的是处理与DSP的数据交互功能;用户层是一些接口函数,供二次开发使用;用户层是人机界面层主要完成人机界面监控和一些参数修改等功能。依据软件总体设计思路对各个模块进行软件流程或代码编写工作,进而实现梯形加减速、S形加减速、传感器搜索及位置速度检测等功能要求。人机界面的设计主要是为了实现固晶电机监控以及参数修改等功能要求。在完成软硬件的设计工作之后,整合软件和硬件部分,联合测试系统的工作性能。通过联合测试之后,可验证其平滑的运动及高精度的位置控制,此外还具有捕获原位的功能等。同时伺服系统的定位精度、最高转速、最低转速、调速范围、调速静态特性即工作稳定性都能够满足固晶设备的要求。本课题的研究使固晶机数字伺服系统在控制性能和控制精度方面有了提升,也可以显示其在固晶电机运动控制方面的优越性。同时由测试和仿真得到的结论也反映了伺服运动控制方案的可行性和稳定性。