球面及柱面绝对测量技术研究

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本文在回顾光学干涉测量的基础上,介绍了作者在球面激光干涉仪上实现球面面形及柱面形的绝对测量方面所作的研究工作。重点介绍了:1.用三次及二次检验法对球面光学零件面形的绝对检验法原理、技术关键、实验结果和测量不确定度分析;2.采用三次对柱面光学零件面形的绝对检验法原理、技术关键、实验结果和测量不确定度分析。 球面面形的绝对检验方法,采用了三次检验法和二次检验法。三次检验法是在球面干涉仪测量的基础上,通过常规测试、旋转被测件180°测试、转动被测件猫眼位置测试将三次测量结果进行处理,分离出被测面形的绝对误差。二次检验法是三次检验法的一种简化,适用于被测件面形旋转对称分布或精度要求不高的情况下,其测量是省略去了三次检验法中的旋转测量过程。 柱面面形绝对检验法采用三次检验的柱面绝对检验法,利用斐索干涉仪主机,配以标准柱面透镜,产生一柱面波与被测柱面镜产生的柱面波干涉。进行三次绝对干涉测量,即常规测试、被测柱面镜旋转180°测试及猫眼位置测试,将三幅干涉图通过软件进行处理,消除装置的系统误差,获得被测球面的绝对误差。
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