【摘 要】
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该文采用溶胶-凝胶法合成了SBTN粉体,并在Pt(111)/Ti/SiO/Si基片上制备了SBTN铁电薄膜.通过差热-热重分析(TG-DTA)、XRD、红外光谱(IR)、SEM、原子力显微镜(AFM)、TEM等技术
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该文采用溶胶-凝胶法合成了SBTN粉体,并在Pt(111)/Ti/SiO<,2>/Si基片上制备了SBTN铁电薄膜.通过差热-热重分析(TG-DTA)、XRD、红外光谱(IR)、SEM、原子力显微镜(AFM)、TEM等技术手段对SBTN制备工艺中溶胶-凝胶反应机理、凝胶的结晶行为、SBTN粉体的物相及形貌特征进行了较为系统的研究,进而研究了热处理工艺对Pt(111)/Ti/SiO<,2>/Si基片上制备的SBTN铁电薄膜结构及形貌的影响,分析了晶粒生长机制,研究了热处理温度对晶粒尺寸的影响,研究了Nb掺杂对SBT铁电薄膜的结构及形貌的影响.
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