【摘 要】
:
近些年来,GaN基异质结材料作为超高频大功率器件的核心材料其结构设计,器件制作,工艺优化被广泛研究。一直以来提高功率密度缩小器件尺寸都是科研工作者不断追求的目标,我们使用A
论文部分内容阅读
近些年来,GaN基异质结材料作为超高频大功率器件的核心材料其结构设计,器件制作,工艺优化被广泛研究。一直以来提高功率密度缩小器件尺寸都是科研工作者不断追求的目标,我们使用AlGaN沟道异质结材料代替常规AlGaN/GaN异质结以期提高HEMTs器件的工作电压。在沟道材料生长时利用超晶格结构提高AlGaN沟道的外延质量并减小合金无序散射对材料迁移率的副作用,以达到提高AlGaN沟道材料HEMTs器件的饱和电流密度。本文研究基于超晶格结构的AlGaN沟道异质结材料生长及器件并得到下列成果: 1.生长Al0.73Ga0.27N/Al0.22Ga0.78N和Al0.72Ga0.28N/Al0.20Ga0.80N异质结,后者具有超晶格结构的高Al组分AlGaN势垒。(002)面和(102)面摇摆曲线半高宽分别为354.1arcsec,426.4arcsec和318.5arcsec,405.2arcsec,结晶质量相近。超晶格结构使样品表面形貌改善,原子台阶更加清晰,RMS由0.361nm减小到0.313nm。样品2DEG迁移率由739.0cm2/V·s提高到1010.2cm2/V·s。 2.生长Al0.72Ga0.28N/Al0.32Ga0.68N异质结,其中沟道层变换为AlN/GaN超晶格结构,进一步减小合金无序排列对电子气迁移率的影响。(002)面和(102)面摇摆曲线半高宽分别为487.7和479.2arcsec。样品表面进一步得到改善,原子台阶清晰细密,RMS减小从0.313nm到0.273nm。样品2DEG迁移率升高到1174.6cm2/V·s,面密度为6.6×1012cm-2,方块电阻值为808Ω/□。 3.利用外延制备的常规AlxGa1-xN/AlyGa1-yN异质结以及超晶格结构AlGaN沟道材料异质结材料制作了HEMTs器件,具有超晶格结构的AlGaN沟道材料Al组分高达32%,制作的器件具有高击穿电压,且饱和电流密度相对常规AlGaN沟道材料制作的HEMTs器件几乎没有下降,栅漏间距Lgd=8μm时器件击穿电压达到368V,栅电压为5V时输出电流密度达到189.6mA/mm,峰值跨导为86.3mS/mm。DIBL系数比较小为5.6mV/V。 4.对器件样品的欧姆接触TLM图形进行测试分析,AlGaN沟道材料的欧姆接触电阻为1.999Ω·mm。高Al组分AlGaN势垒增加了欧姆接触制作难度,测试得到材料方块电阻与第三章中材料表征测试基本一致。对器件样品的肖特基接触特性进行测试分析,发现传统AlGaN沟道材料制作的器件漏电更大为12.5×10-6mA/mm,超晶格结构AlGaN沟道制作的器件漏电较低为8.2×10-6mA/mm,超晶格结构AlGaN沟道材料结晶质量好,器件的栅漏电得到抑制。
其他文献
在课堂教学中,教师应重新认识在课堂教学中的任务和角色重新设计课堂教学一般原则和活动模式。这就要求课堂教学改革研究课堂教学众整合。在课堂教学中如何激发学生学习兴趣,是
在人类社会发展和工业化进程推进的过程中,能源是不可缺少的一部分,然而传统的化石能源在推进人类发展的同时,也带来了严重的环境污染问题。为了促进社会的可持续发展,需要大力关
AQP3是水甘油通道蛋白家族成员之一,广泛分布在皮肤、肾、膀胱及消化道上皮等部位。在哺乳动物中,AQP3作为细胞膜上水和甘油的运输通道参与许多重要生理过程,但其在雌性生殖过程
随着电子技术的不断发展进步,空间中的雷达信号环境越来越复杂,雷达信号环境也越来越受到人们的重视。雷达信号环境的复杂化为复杂雷达信号环境模拟技术的研究提供了现实意义和
摘 要: 2010年江苏高考化学卷延续了近几年高考试题命题的整体趋势,体现了高中化学新课程的“基础性、应用性、时代性”的特征和江苏高考化学科最新修订的考试说明中所提出的“宽基础、厚实践、重能力”的高考命题指导思想,对思维能力的要求更高,更加注重对知识的灵活应用的要求。本文以试卷中化学基础理论部分内容的试题为例加以分析。 关键词: 2010年江苏高考化学卷 基础理论部分内容试题 命题特色 2
论文主要研究了调频收音机中RDS信号解调算法及其算法的进一步探讨。目前国际通用的RDS标准主要基于模拟电路,本文用数字电路方法实现了RDS系统,并且在性能上远远达到了国际
有效教学指教师遵循教学活动的客观规律,以尽可能少的时间、精力和物力投入,取得尽可能优的教学效果。激发和调动学生的主动性和创新能力是有效教学的出发点和基础,学生进步是有效教学的唯一标准。高三生物三轮复习,时间短、综合性强且常规地做题讲题,使学生产生疲倦的心理,上好一节高效的生物试卷评讲课更显必要。 一、以明确的教学目的作为教学导向 试卷评讲课一定要依据学生情况确定教学目标,使整个教学过程始终处于
本文主要研究了基于LABWINDOWS/CVI的介质材料介电常数的测试方法。介电常数是介质材料的主要性能参数之一,其测量方法多样。本文主要是利用谐振腔微扰法和短路开路法对介质介电常数进行测量。本文首先基于传输线理论、微波理论、矩形波导理论,分析了谐振腔微扰法和短路开路法,对测试方法和原理中存在的一些问题进行了探讨。在测试过程中需要用到网络分析仪,由于其测量系统存在的各种误差使测量值与真实值之间有一
摘 要: 陶行知的教育思想是教师的精神财富,为教育教学指引了方向。通过学习,作者反思了在教学过程中、在课程改革中应该注意的一些问题。课堂上一定要以人为本,也就是以学生为主体,发挥学生的能动性,培养学生的开放性与创造性。同时教师应探索出一套适应创新教育的课外活动,拓展学生的化学知识体系结构,扩大视野,真正提高学生的素质。 关键词: 陶行知教育思想 化学学科 教学方法 启示 陶行知先生是我国现
好的教学应该使学生在接受知识、学习知识的过程中受到心灵的洗涤、情操的淘冶,从而促进个性发展,因此,如何融合知识教学和思想教育,把学生的知、情、意、信、行统一起来,是上好一堂思想品德课的关键所在。当前思想品德课教学已不再是单纯的传授知识,而是集品德教育、知识传授、各种能力培养、劳动创新意识的形成为一体的综合教育形式,尤其是思想品德教育更是责无旁贷,而过去那种“满堂灌”的传统的课堂教学模式及教育方法则