【摘 要】
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激光直写技术是一种衍射光学元件制作的新技术，其加工元件的制作精度直接决定于超精密驱动与伺服控制系统的定位精度和轨迹跟踪精度。 本文在对目前国内外超精密驱动
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激光直写技术是一种衍射光学元件制作的新技术，其加工元件的制作精度直接决定于超精密驱动与伺服控制系统的定位精度和轨迹跟踪精度。
本文在对目前国内外超精密驱动与伺服控制技术分析的基础上，针对其中制约系统定位精度和轨迹跟踪精度的关键技术——参考轨迹插补技术、位置伺服控制技术进行了深入的研究。在分析了传统插补器所存在的问题的基础上，提出了基于PC的参考轨迹离线插补的方法。本文同时综合考虑了各轴的伺服驱动能力等因素，应用了目前国内外先进的驱动控制系统所采用的S加减速算法，解决了进给速度和插补精度之间的矛盾。
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