在光学薄膜的研究中，需要对其抗激光损伤能力进行测试。准确地获得激光光束的总能量、峰值能量密度和有效面积等参数对提高光学薄膜抗激光损伤能力具有重要意义。而分析光学薄膜的缺陷和损伤对研究激光诱导损伤机理也有重要的参考作用。本文研究了针对光学薄膜激光诱导损伤的图像分析方法和激光诱导损伤参数的测量方法。 本文提出了一种新的CCD光电响应特性标定方法。先把已知的多个单光斑的总能量与单光斑图像的总灰度、单光斑的峰值能量密度与单光斑图像的最大灰度分别作出标定直线，然后将激光光束经过光栅后在CCD靶面上成像的多个小光斑进行分割，再找出各小光斑的总灰度和最大灰度，利用标定直线可以求得小光斑的总能量和峰值能量密度，进一步可以计算出小光斑的有效面积。 本文改进了基于小波变换的快速图像匹配算法。为观察光学薄膜激光诱导损伤的局部细节，本文实现了光学薄膜激光诱导损伤图像在不同放大倍数下的图像匹配。为解决产生的误匹配问题，本文引入了匹配约束条件，提高了图像匹配的准确率。 本文改进了传统的活动轮廓模型。为提取光学薄膜损伤部分的轮廓，本文将控制点与其相邻两个控制点连线上像素点的梯度中值作为活动轮廓模型的外力，降低了噪声对轮廓提取的影响。 本文改进了基于遗传算法的二维最大熵分割算法。本文将像素的灰度及其邻域灰度均值作为分割门限，并通过公式推导优化了二维熵的计算过程，从而快速准确地分割了光学薄膜的内部缺陷，为定量计算奠定了基础。 在进行上述理论研究的同时，研制了一套光学薄膜激光诱导损伤图像分析与参数测量软件系统，应用于成都精密光学工程研究中心的光学薄膜激光诱导损伤研究中。