电致变色薄膜可用于灵巧窗，大面积、高对比度、高分辨率及无视角差的显示屏，汽车后视镜的自动光强调节等方面，具有很广泛的应用前景。在众多电致变色材料中，三氧化钨（WO₃）具有着色效率高、可逆性好、响应时间短、寿命长、成本低等特点，被认为是最有发展前途的电致变色材料之一。本课题采用电子束蒸发法在导电玻璃（ITO）上沉积WO₃薄膜，通过原子力显微镜（AFM）、X射线衍射仪（XRD）和紫外-可见光分光光度计对薄膜进行表征和分析，讨论了不同镀膜工艺参数对薄膜形貌、结构和电致变色性能的影响，确定了较为合适的变色薄膜厚度和退火温度。通过对样品的AFM分析发现，室温条件下所镀薄膜随着退火温度的升高，晶粒逐渐增大。350℃退火的WO₃薄膜随着膜厚的增加或基片温度的升高，薄膜表面的团簇现象增多；束流大小对薄膜表面形貌无明显影响。通过对基片和靶材的XRD分析，证明了靶材呈多晶态，具有三斜相结构。对室温下所镀薄膜退火后进行分析，结果表明WO₃薄膜由非晶态向晶态转化的温度范围是320℃——350℃。对350℃退火后样品的XRD分析，发现随着薄膜厚度的增加或基片温度的升高，薄膜生长的取向性增多；束流的变化对晶体结构无明显影响。对室温所镀薄膜在经过不同温度退火，进行可见光范围内的透射率分析，分别对比了它们的透射率之差。对不同条件的薄膜进行了退火后的透射率分析，得到了较为合适的变色薄膜的厚度和退火条件。同时研究了变色薄膜的开关响应时间、循环利用次数、记忆存储能力三个重要的性能指标。