随着科学技术的发展,电路和元器件正朝着薄膜化、集成化的方向发展。电介质薄膜材料作为薄膜材料,正因顺应这一发展趋势而得以广泛地研制和应用。目前电介质薄膜材料的应用已进入微波频段,因此,在微波频段准确地测试电介质薄膜材料微波电磁参数对薄膜材料的研制和微电子器件、电路的设计是至关重要的。本文对电介质薄膜材料的测试技术进行了系统的研究,提出了相应的测试方法。主要研究工作如下:1.通过对国内外相关技术的分析,依据电介质薄膜的物理特性,确定了共面波导结构测试方案,并对测试过程中出现的几种共面波导结构进行了准静态分析。2.在谐振法上,确定了测试夹具的等效复介电常数与测试参数之间的关系,并从测试夹具的等效复介电常数中提取出电介质薄膜材料的复介电常数。建立了由矢量网络分析仪、转接头、测试电路、耦合装置、加压装置和固定装置组成的谐振法测试系统。并在在1～4GHz的频率范围内,对多个电介质薄膜材料进行了测量。3.在传输法上,采用去嵌入方法确定了测试夹具的等效复介电常数和散射矩阵的关系式,建立了由矢量网络分析仪、连接器和测试夹具组成的测试系统,并对传输法测试进行了仿真计算。谐振法测试结果表明,谐振法测试理论是正确和准确的。传输法仿真结果表明,传输法测试理论在理论上是正确和准确的。