随机表面是自然界重要的组成部分，随机表面及其散射光场的研究在材料生长、精密加工和医学诊断等许多领域具有重要的基础研究意义和实际应用意义，由随机表面散射产生的随机光场不仅是研究表面的重要手段，而且是探索光场本身特性即统计光学的重要内容，因此随机表面的特性一直是备受关注的研究课题。自仿射分形表面是一种能够更精确描述各种实际表面的模型，这种模型能同时描述随机表面长程内的颗粒状结构和短程内的自相似性，成为近年来被广泛接受和采用的表面模型。自仿射分形表面模型主要由三个统计参量来描述，即方均根粗糙度 w、横向相关长度?和粗糙指数?，其中?描述的是随机表面短程内的分形特征。　　本文针对各向异性随机表面的散射光强分布的特点，根据光波衍射的基尔霍夫理论，计算出各向异性随机表面的光散射方位曲线，并用门积分平均的散射光强轮廓采集系统沿方位曲线测量了Si(100)晶片这一典型的各向异性随机表面的散射光场，采用傅立叶变换法，通过fortran编程计算，对光的散射轮廓进行傅立叶逆变换，从而同时得到自仿射分形表面的三个统计参量，并与经原子力显微镜测量随机表面高度计算所得到的参量相比较，验证了所得数据的正确性，说明傅立叶变换法可以正确确定各向异性随机表面。本文完成的主要工作概括如下:　　第一章为绪论，论述了研究随机表面及其散射光场特性的意义和随机表面的主要测量方法。　　第二章介绍了自仿射随机表面模型的光散射理论，探讨了自仿射分形随机表面的散射轮廓函数的近似计算，以及如何从光的散射轮廓中提取随机表面参量。　　第三章为自仿射分形随机表面的光散射特性实验研究。以Si(100)晶片的粗糙背面作为反射式随机表面样品，分别用原子力显微镜和光散射方法测量了样品表面的统计参量。在光散射实验测量中，采用光电倍增管作为探测器，测量了在入射角为40°、45°、50°、55°、60°、65°、70°、75°、80°、83°和85°时样品表面的散射光强，由数学上的对称下降函数计算得到散射光强轮廓函数。　　第四章利用傅立叶变换法对光的散射轮廓进行变换，从而同时得到自仿射分形表面的三个统计参量，还用原子力显微镜对实验测量中的表面样品进行了测量和分析，并且把光散射方法和原子力显微镜测量确定的样品表面统计参量的实验结果进行了比较，实验结果表明:本方法所获得的随机表面参量值与原子力显微镜的接触法测量所得到的随机表面参量值两者符合的很好。　　第五章对全文进行了客观地总结，并对下一步有关随机表面的光散射研究工作进行了展望。