高速光电子器件作为光通信系统以及微波光子链路的核心器件,其高频测试方法一直是研究热点,光电子器件频率响应的移频外差测试方法,由于多器件、多维度、自校正、高分辨等优点,具有良好的应用前景。随着对于光通信系统谱效率和微波光子链路性能高的要求越来越高,对于光电子器件的频率响应测试方法测试精确度的要求也随之提高。移频外差测试法中由于功率近似带来的误差也越来越不可忽略,迫切需要对于此测试系统的功率校正方法。本研究致力于解决这一问题,通过分析传输线理论明确微波网络中不同功率的物理意义,结合测试方法对于不同类型功率校正的需求,建立了多个微波网络理论模型。提出了针对源功率校正和接收功率校正的两种功率校正方法,并成功运用到移频外差测试法中。论文的具体工作为:1.提出一种微波源功率校正方法,并应用于电光相位调制器频率响应测试中。该方法通过构建微波源级联功率放大器形成等效源系统,通过测试等效源反射系数解决了无法表征微波源激励条件下反射的问题,进而测试出精确的负载吸收功率。对该方法进行了理论模型建立,仿真模拟分析和实验验证,并被应用于电光相位调制器的移频外差测试法中,改良了实验结构。通过等效源功率校正获取调制器精确的驱动功率,进而获取调制器的半波电压。通过校正前后测试结果与标准值吻合程度的比较,证明了此校正方法对于电光相位调制器的移频外差测试结果的准确性有显著提升。2.提出一种频谱分析仪接收功率校正方法,并应用于光电探测器频率响应测试中。该方法通过在特定参数设置下,测量频谱分析仪频率响应,进而对其接收功率进行校正。该方法通过了理论模型分析,并经实验验证,被成功应用于光电探测器的移频外差测试系统中。通过事先在设定参数下的频谱分析仪频率响应测试,对于光电探测器输出功率进行了功率校正,进而得到光电探测器响应度。通过校正前后结果与标准值的吻合程度对比,证明了该校正方法对于光电探测器频率响应测试的移频外差方法有显著改善。